FOM kent valorisatieproject toe aan ultrasoon schoonmaken
De Stichting FOM heeft een valorisatiesubsidie toegekend aan een consortium van de UvA onder leiding van FOM-werkgroepleider prof.dr. Mark Golden. Zijn team gaat samen met de FOM-werkgroep van dr. Rudolf Sprik en met dr. Luigi Scaccabarozzi van ASML onderzoeken of ultrasoon geluid gebruikt kan worden om maskers van de nieuwste extreem ultraviolet licht (EUV) lithografische machines te reinigen. De jury is van mening dat dit projectvoorstel heldere toepassingsdoelstellingen en grote industriële relevantie heeft. Het totale project heeft een omvang van 123.000 euro, waarvan FOM 53.000 euro bijdraagt, het Van der Waals-Zeeman Instituut van de Universiteit van Amsterdam 25.000 euro en ASML 45.000 euro.
EUV=extreem lastig?
ASML is wereldleider in de ontwikkeling van EUV-lithografie machines voor klanten die halfgeleiderchips fabriceren. In gewone UV-lithografie, is niet alleen het masker beschermd in een dun hoesje, maar zijn ook de kleinste maskerstructuren nog relatief groot. Deze combinatie maakt het proces relatief ongevoelig voor kleine stof- en vuildeeltjes, of andere verontreinigingen van het maskeroppervlak. In de nieuwste generatie chipmachines zet ASML EUV-straling in met kortere golflengtes, om nog kleinere details op de chips te kunnen belichten. Met deze EUV-techniek moeten de maskers bloot blijven. Daar komt bij dat de kwaliteit van de optische afbeeldingen nu ook gevoelig is voor heel kleine stof- en vuildeeltjes. Extreem UV gebruiken is dus extreem lastig.
De UvA-werkgroepen zullen in dit valorisatieproject onderzoeken of - net als bij de juwelier - ultrasoon geluid gebruikt kan worden om de maskers een poetsbeurt te geven: dat verkort de down-time van de machine en reduceert de servicekosten. Dr. Freek Masse, recent gepromoveerd op het gebied van microscopie van quantummaterie, zal oppervlaktegevoelige probes inzetten. Masse wil nagaan of dit idee ook werkt in de praktijk, op substraten die ASML ter beschikking stelt.
"Er breekt nu een spannend half jaar aan: op 15 november zal het consortium al een duidelijk ja/nee antwoord kunnen geven. Een ja zal natuurlijk geweldig zijn, maar ook een duidelijk nee is van nut voor ASML: een optie op de to try lijst kan worden doorgestreept. ASML had al haar investering toegezegd, maar het valorisatieprogramma van FOM bood ons meer financiële speelruimte om versneld dit voor ons out of the box onderzoeksidee uit te kunnen zoeken," licht Mark Golden toe.
Valorisatie@FOM
Dit is het vierde FOM-valorisatieproject waarmee FOM kennisbenutting van natuurkundeonderzoek op universiteiten wil stimuleren. FOM steunt hiermee valorisatie van haar onderzoek bij instituten en universiteiten. De drie valorisatieprojecten voor universitaire werkgroepen die al gestart zijn, staan onder leiding van de FOM-werkgroepleiders dr. Rudolf Sprik, prof.dr. Martin van Hecke en dr. Davide Iannuzzi.
Meer informatie
Contact: prof.dr. Mark Golden, (020) 525 63 63.