Bewegende oppervlakken inspecteren met een lensloze microscoop
ARCNL, VU, ASML en Tata Steel werken samen in een STW-project
Onderzoekers van ARCNL, de Vrije Universiteit, ASML en Tata Steel slaan de handen ineen om nieuwe technieken te ontwikkelen voor beeldvorming van oppervlakken op basis van lensloze microscopie. Ze werken samen in een door Technologiestichting STW gefinancierd project dat vandaag start. Het project heeft een looptijd van vier jaar en een budget van 700.000 euro, waarvan ASML en Tata Steel elk 15 procent bijdragen.
Het project sluit aan bij de doelstelling van ARCNL om fundamentele kennis op te doen op terreinen die aan de basis staan van mogelijke toepassingen. Het onderzoek van ARCNL is altijd gedreven door nieuwsgierigheid, maar met hightech toepassingen in het achterhoofd. Projectleider Stefan Witte: "ARCNL ontwikkelt kennis over lensloze microscopie. Deze kennis blijkt niet alleen relevant voor de lithografische structuren die ASML gebruikt, maar ook voor de snel bewegende metaaloppervlakken van Tata Steel." Tata Steel wordt daarmee, naast ASML, het tweede bedrijf waarmee ARCNL gaat samenwerken. Witte kreeg eerder subsidie voor een valorisatieproject van FOM.
Lensloze microscopie
Het doel van het project is om nieuwe microscopen te ontwikkelen om zowel snel bewegende metaaloppervlakken als lithografische structuren tijdens productieprocessen te kunnen bekijken. Witte: "Voor industriële toepassingen is het belangrijk dat de structuur van deze oppervlakken precies in orde is en dat er geen defecten zijn. Daarom willen we, ook tijdens de productie, de oppervlakken met microscopen kunnen bekijken. Lensloze microscopie is een manier van beeldvorming, waarin een beeld van een object niet direct met lenzen wordt geprojecteerd. In plaats daarvan wordt het licht dat van het object verstrooit door een camera opgenomen. Het resultaat is een vaak onherkenbare opname, waar echter nog wel heel veel informatie over het object in verborgen zit. Met behulp van een rekenprogramma op een computer kunnen we dan alsnog de vorm van het bekeken object reconstrueren. Op deze manier kunnen we compactere, flexibelere microscopen bouwen die toch hele scherpe beelden leveren."
Hightech systemen en materialen
Het project is gehonoreerd binnen de Hightech Systemen en Materialen (HTSM) call die STW jaarlijks organiseert met een bijdrage van de Stichting TKI-HTSM. HTSM is een van de negen door het kabinet gedefinieerde topsectoren en de call is hiermee een direct uitvloeisel van het kabinetsbeleid. De HTSM-call staat open voor projecten waarin onderzoekers in intensieve samenwerking met bedrijven funderende kennis ontwikkelen voor technologische doorbraken en innovatieve toepassingen.
Over ARCNL
Het Advanced Research Center for Nanolithography (ARCNL) is een publiek-private samenwerking tussen de Stichting voor Fundamenteel Onderzoek der Materie (FOM), de Universiteit van Amsterdam (UvA), de Vrije Universiteit Amsterdam (VU) en ASML, de producent van lithografiemachines voor de chipindustrie, met aanvullende financiële steun van de gemeente Amsterdam en de provincie Noord-Holland. ARCNL verricht fundamenteel onderzoek op het gebied van de nanolithografie, in het bijzonder voor toepassing in de halfgeleiderindustrie. In eerste instantie richt het centrum zich op de fysische en chemische processen die cruciaal zijn voor lithografie met Extreem Ultraviolet (EUV) licht. ARCNL is gevestigd op het Amsterdam Science Park. Een 'Advanced Research Center' is een nieuw type samenwerkingsverband, waarmee NWO een impuls geeft aan samenwerking tussen universiteiten en private partijen.
Voor meer informatie kunt u contact opnemen met Stefan Witte, (020) 851 71 00.